在自动测试设备环境下的使用COC技术的集成CMOS霍尔传感器的校准

在自动测试设备环境下的使用COC技术的集成CMOS霍尔传感器的校准方法(中文4800字,英文PDF)
比利时AMI半导体公司，Mustafa Badaroglu, Guy Decabooter, Francois Laulanet,和 Olivier Charlier
摘要：
由于霍尔传感器在汽车自动和工业化的高度需求下，霍尔传感器在SOC领域和工业制造的的发展变得尤为重要。从另一方面说，霍尔传感器的测试和描述选项在制造业中显得很有限。在大多数情况下，外部领域的发电机被用来描述小部分样品霍尔传感器的生产。在本文中，我们介绍一种不需要专门安装或者组合配置的COC校准方法。我们的方法是对自加热是免疫的。我们的方法能够降低设备的测试费用和降低对霍尔传感器在制造业中100%的筛选测试，可靠的微调灵敏度可以延伸到-40~150摄氏度。对规格化灵敏度为120个样本的不同结构的霍尔传感器在0.35微米的高压CMOS工艺的处理中，根据修整前的测量结果显示只有20%的样品低于6 σ。