电化学微加工及其复合变形的加工性能研究进展

电化学微加工及其复合变形的加工性能研究进展(中文9400字,英文PDF)
摘要：
电解加工(ECM)是一种非常规的微加工技术，能够在易导电且难切割的材料上加工高纵横比微孔、微腔、微通道和微沟槽。学术界和工业界一致认为，它具有良好的加工性能，特别是在要求表面光洁度高、无刀具磨损、无热致缺陷等方面。此外，为了加工性能优异的新型材料，新型复合电化学微加工技术也在不断发展。利用这些复合微电解加工技术，可以将微电解加工技术与其他工艺相结合，扩大微电解加工的能力。为了充分发挥这一潜力，改进电解加工技术和相关的混合过程，需要更多的学科知识。本文结合电化学微机械的基础和应用研究领域的知识，系统地论述了电解加工的能力和研究进展，以及电化学微机械的复合加工。在之前的技术状态的介绍评论文章很少之后，这篇填补了研究文献的一个重要空白，它首次提出了一个扩展的文献来源，广泛报道了电化学微加工技术及其复合加工技术的最新研究进展。摘要概述了电化学微加工技术的研究与工程进展及其复合发展，综述了相关概念、加工方法、先进工艺能力和工艺能源等方面的研究进展。同时也为微电解加工技术的技术理解提供了新的视角，这将有助于今后微电解加工技术的工程开发。

关键词：微电火花加工,精密加工,脉冲电化学微电解加工,复合电解加工